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Quelle: Fraunhofer-GesellschaftFraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme - Mitarbeiterseiten für Kontakt zur Institutsleitung, Online im Internet; URL: https://www.enas.fraunhofer.de/de/kontakt/mitarbeiter.html, Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme, 2017-08-08_Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland, 2017-08-23_BMWi-Projekt TOpWind gestartet, 2017-09-19_MonitoringsystemGalvaniklösungen_MSNS2017, 2017-12-12_Mit revolutionärer Sensor-Plattform zu IoT-Systemen der nächsten Generation, 2018-03-14_For high-efficient computers using nanoscale biomolecules, 2018-06-20_MicroProfTL_FRT+FraunhoferENAS_Sensor+Test, 2018-06-21_Fraunhofer-Gesellschaft beschließt Gründung des Leistungszentrums »Smart Production and Materials«, 2018-12-17_FraunhoferENAS-Forschungspreis2018, 2019-03-28_Globalfoundries, Fraunhofer-Gesellschaft und Next Big Thing gründen Start-up in Dresden, 2019-04-23_Erstmalig Thomas Gessner Award auf der SSI 2019 in Barcelona verliehen, 2019-04-25_Fraunhofer-Symposium in Sendai, 2019-05-07_Lange Nacht der Wissenschaften – Ein kurzweiliger Streifzug durch die Mikro- und Nanotechnologien in Chemnitz, 2019-06-20_Nahfeldscanner_SENSOR+TEST2019, 2019-06-21_AlN-Technologie_SENSOR+TEST2019, 2019-10-21_DPG-ChemnitzerIndustriegespraeche, 2020-11-05_Projekt_M3Infekt_FraunhoferENAS, 2020-11-12_Presseinformation_Fraunhofer-ENAS-virtualCOMPAMED2020, 2020-12-17_Presseinformation_Forschungspreis2020_FraunhoferENAS, Ausstellungsreihe »Wissenschaft trifft Kunst«, Die Hummeln, die Füchse und der Mörtel - Osmar Osten, Aus der Tiefe - Siegfried Otto Hüttengrund, Natur – Mensch – Technik 2021 – Ines Escherich, Ehrenkolloquium zum Gedenken an Prof. Dr. Thomas Geßner, 10 Jahre Fraunhofer ENAS - Anmeldeformular, Outstanding Paper Award der InterPACK 2020, Registrierung Forschungspreisverleihung 2020, Kooperation mit der Industrie im Rahmen des deutschen Spitzencluster –Programms, Fraunhofer ENAS Teil der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD), Kooperationen innerhalb der Fraunhofer-Gesellschaft, Prozesse und Technologien für die Mikro- und Nanoelektronik mit Fokus auf Back-End of Line und Interconnects, In Situ Plasmadiagnostik für Ätzprozesse in der 7 nm Technologie, Chemische Gasphasenabscheidung von Cobaltoxiden bei niedrigen Temperaturen, Thermische ALD von Cupfer auf Cobalt für hochentwickelte Interconnects, Untersuchung von ULK-Ätzprozessen mittels Plasmadiagnostik und Korrelationsanalysen, Experimental and theoretical investigations on a plasma assisted in situ restoration process for ULK dielectrics, Characterization of Copper Alloys for Self-Forming Barrier Applications, Neue Charakterisierungsverfahren für die Oberflächenbearbeitung, Modellierung und Simulation technologischer Prozesse, Anlagen und Bauelemente, Modellierungs- und Simulationsmethoden zur effizienten und vollständigen Systemcharakterisierung, Beyond-CMOS- und HF–Bauelemente, integrierte Schaltungen und Technologien, Funktionale Nanostrukturen für Biocomputer, Nichtflüchtig rekonfigurierbare Widerstandsschalter, Technologieentwicklung für analoge Hochfrequenz CNT-FETs, Technologieplattform für Bauelemente aus Kohlenstoffnanoröhren, Digitales Widerstandsschalten in ferroelektrischen, polykristallinen YMnO3-Dünnfilmen, Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT) und (Heterogene) Integration (2D, 2,5D, 3D) für elektronische Bauelemente, Power Packaging: Silber- und Kupfer-Zinn-Sintern für Leistungselektronik, Eingriffssichere Hardware schützt sensible Daten - Additive Ferigung für intelligente Packagingkomponenten, HyperConnect: Selbstzusammenbau von Mikro- und Nanopartikeln durch Zentrifugalkräfte und Haargefäßüberbrücken für 3D-Thermalverbindungen, Cool PoD: Printed 3D chip-2-board interconnects, Elektromagnetische und thermomechanische Charakterisierung und Zuverlässigkeitsbewertung, Thermo-mechanische Zuverlässigkeitsaspekte von Hochtemperatur-Verbindungen durch transientes Flüssigphasenlöten, Skalenübergreifende Eigen-spannungsanalyse in nano-skopischen Dünnschichtaufbauten, High-precision deformation measurements in multi-scale applications – a verification methodology for simulation-based reliability predictions, Messungen der inneren Belastungen mit der FIB Ausrüstung, Langzeit-Zuverlässigkeitstests unter Feldbedingungen und Evaluierung von Beschleunigungsfaktoren, Zuverlässigkeitsoptimierung für die nächste Generation LED-basierter, intelligenter und komfortabler Beleuchtungslösungen, Systemische und Langzeit-Effekte auf die Zuverlässigkeit von Lötverbindungen für die Mobilität der Zukunft, Neuer Simulationsmodellansatz: Zuverlässigkeitsanalyse unter Verwendung von CZM für 3D-Packages, Kombinierte experimentell-numerische Methoden für die thermo-mechanische Systemzuverlässigkeit, Intense2020: Entwicklung von robusten Beschleunigungssensoren für Automotive-Anwendungen, Aluminumnitrid – Innovative piezoelektrische-MEMS-Wandler, Direct integration of strain sensitive field effect transistors for NEMS, Piezoelectric low-power MEMS with aluminum nitride, KoliBriS – Modulare Technologieplattform für hochkompakte Inertialsensoren mit integrierter Schaltungselektronik, FABRY-PÉROT Interferometer für Sensoranwendungen im infraroten Spektralbereich auf dem Weg zur weiteren Miniaturisierung, MEMS mit Subwellenlängenstrukturen für Infrarotbauelemente, Kohlenstoffnanoröhren als Schwarz schichtabsorber/-emitter für IR-Anwendungen, Quantum-Dot-basierte Leuchtdioden auf Textilien, Monolithically integrated 2D magnetic field sensors based on GMR spin valves, Spintronische Sensoren zur Detektion kleinster Magnetfelder, PMUT – Eine neue Generation von Ultraschallwandlern, Belastungssensorik für Leichtbaumaterialien, Lichtausstrahlende Dioden auf Quantpunkten für die Integration im Plastikmaterial, Metamaterialien – Möglichkeiten der Realisierung passiv wirkender smarter Strukturen, Kohlenstoffnanoröhren für hochempfindliche Dehnungssensorik, Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT) und (Heterogene) Integration (2D, 2.5D, 3D), Cu-TSV für MEMS basierend aud einer Via Last Methode, In Situ Messung Mechanischer Spannungen mit Hilfe eines Stressmesschips, UNSETH: Prozess und Zuverlässigkeitsbewertungen von Integrations- und Verpackungstechnologien, die hardwarebasierte Sicherheit zur Verfügung stellen, Automatisiertes virtuelles Prototyping von rekonfigurierten FOWLP-Wafern, Thermo-mechanische Anregung von geschlossenen MEMSBauelementen, Technologies and Systems for Smart Power and Mobility, Realisierung von Quantum Dot Solarzellen auf technischen Textilien, Technologies and Systems for Smart Health, WIRAplant: kabellose Aktive Radioimplantate, Projekt leiTEX: Gedruckte Energiespeicher für drahtlos auswertbares Sensor-Label, Komponenten für Neurokontrolle- und Neurorehabilitation, VIAMOS – Vertically Integrated Array-type Mirau-based OCT System for early diagnostics of skin pathologies, Technologies and Systems for Smart Production, Digitale Fertigung in der Massenproduktion – Funktionsdruck auf 3D Objekte, Thermo-mechanische Zuverlässigkeitsaspekte von gedruckten Funktionalitäten, Projekt AGENT-elF: Additive Fertigungstechnologien zur Integration elektronischer Funktionalitäten, Digitale Fertigung in der Massenproduktion, Digitale Produktrolle zur Herstelleung von flexiblen gedruckten Smart Systemsexible Printed Smart Systems, On-line-Monitoring des Mikroschweißprozesses bei Si-MEMS, Produktanpassung in der Massenproduktion – Drucken von Kabelbaumsegmenten auf Interieur- und Exterieur-Bauteile, MAMA-MEA – Massenproduktion von MEAs durch schnelle Druck- und Beschichtungsprozesse, Sensorsysteme für Prozess- und Zustandsmonitoring, Leitbahnsysteme für die Mikro- und Nanoelektronik, Elektrochemische Abscheidung von Sondermaterialien, Design elektrischer und multiphysikalischer Systeme, Spendenaufruf zur Förderung des wissenschaftlichen Nachwuchses, Mitarbeiterseiten für Kontakt zur Institutsleitung. 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